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露点トランスミッター / ミッシェル社

超微量水分トランスミッター(高純度ガス用)
Pura Transmitter

超微量水分トランスミッター(高純度ガス用) Pura Transmitter

静電容量式露点トランスミッター Pura Transmitter(ピューラ・トランスミッター)は、超高純度ガスの微量水分測定用に特別に設計された、頑丈な内蔵型湿度計です。超高純度ガスおよび炭化水素中の微量水分測定のために特別に設計され、必要な機能をすべて内蔵した耐久性に優れた小型の微量水分トランスミッターです。本製品は、-110℃dpまでを実露点で標準校正しています。インストールが簡単で、2線式、3線式、および危険区域の3タイプがあり、特定のニーズを満たすため構成可能です。

ミシェル社の最新の金属酸化物(酸化アルミ)水分センサー技術を使用した露点計は、国際標準に合わせて校正され、追跡可能な校正証明書を付属しています。定期的な再点検を実施するだけで国家標準へのトレーサブルを維持することができます。(推奨使用環境の場合、年1回の再点検を推奨しています。)

*温度補正機能を搭載しています。 露点受感部直近に温度センサーを設置し、ガス温度の変化に依存する露点変動を補正します。

露点センサー
センサータイプ ミッシェル社 金属酸化物(酸化アルミ)水分センサー
計測範囲 -120~-40℃dp(-110~-70℃dpで校正済み) ※1
精度 ±2℃dp(-100~-70℃dp)
±4℃dp(-120~-101℃dp)
動作圧力 最小 10-7 Pa(10-9 torr)
最大 24MPa(240 barg/3481psi)
動作温度 -40~+60℃
流量 1~5 NL min-1(5NL/min 推奨)
※1… -60~-40℃dpの校正を希望する場合は、別途指定(追加料金なし)
電子/電気回路
電源 24VDC(最大28VDCまで使用可能)
電流最大値:25mA
出力 4-20mA(2線式トランスミッター)
センサーケーブル 標準:2m オプション:5m、10m
センサーハウジング
センサーブロック 冷却延伸ステンレス、電解研磨
内面:0.1~0.2Ra µm
接続ポート 配管:1/4"VCR 接続(オス)
センサー筐体部:1/2"VCR接続(オス)
寸法 センサーブロック:120(W)×35(D)×150(H)mm
PURAセンサー:132×Φ35mm
重量 センサーブロック:450g
PURAセンサー:180g
モニター
測定単位 露点℃dp、水分量ppmv
電源電圧 85~265VAC ユニバーサル、最大10W
アナログ出力 4-20mA 2点 最大負荷抵抗500Ω
デジタル出力 RS485 Modbus RTU
ディスプレー 2列 6桁 LED
露点℃dp、水分量ppmv 表示
表示分解能 露点0.1℃dp、水分量0.01ppmv
圧力補正 固定値入力
圧力トラスミッタからの伝送入力
2線式4-20mAループ、内部電源24VDC
アラーム 4点アーム接点
(2点 C接点 10A@240VAC、8A@24VDC)
(2点 A接点 5A@240V、4A@24VDC)
寸法 96(W)×48(H)×137(D)mm
重量 405g
  • 露点 -120℃dp(<1ppbv相当)までをカバーする測定範囲
  • 安定した再現性のある測定
  • アナログ、デジタル出力
  • 容易な設置
  • VCRプロセス接続
  • オプションディスプレー/アラームユニット
  • コンパクトなデザイン
  • 低露点校正実施
  • 高純度ガス
  • 炭化水素ガス
  • 半導体製造ライン
  • 光ファイバー製造ライン
  • 電子部品製造ライン
  • 光学コーティングプロセス
  • 工業ガスの生産と充填場
  • LED製造ライン

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